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| Grundlagen und Ausführungen optischer Systeme | Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Übung | ×13Di 08:30-10:00S06 (1385|206) | |
| Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Vorlesung | ×13Mi 18:30-20:00S14 (1385|214) | ||
| Grundlagen und Ausführungen optischer Systeme | Fach-/Modulprüfung | 6 | ||
| Computergestütztes Optikdesign | Computergestütztes Optikdesign | Vorlesung/Übung | ×1Mo 09:00-18:00Extern×1Di 08:00-18:00Extern×1Mi 08:00-18:00Extern×1Do 08:00-18:00Extern×1Fr 08:00-18:00Extern | |
| Computergestütztes Optikdesign | Fach-/Modulprüfung | 6 | ||
| Technologie der extrem ultravioletten Strahlung | Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung | Fach-/Modulprüfung | 6 | Di 29.09.2026 09:00-11:00ZuseLab S1 (2315|203) |
| Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung (Technology of Extreme Ultraviolet Radiation) | Vorlesung/Übung | ×1Mo 08:00-17:00Extern×1Di 08:00-17:00Extern×1Mi 08:00-17:00Extern×6Mi 10:15-11:45Online-Veranstaltung×1Do 08:00-17:00Extern×1Fr 08:00-17:00Extern |