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| Grundlagen und Ausführungen optischer Systeme | Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Übung | ×14Mo 08:30-10:00S11 (1385|211) | |
| Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Vorlesung | ×14Mo 18:30-20:00S15 (1385|215) | ||
| Computergestütztes Optikdesign | Computergestütztes Optikdesign | Vorlesung/Übung | ×1Mo 09:00-18:00Extern×1Di 09:00-18:00Extern×1Mi 09:00-18:00Extern×1Do 09:00-18:00Extern×1Fr 09:00-18:00Extern | |
| Technologie der extrem ultravioletten Strahlung | Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung (Technology of Extreme Ultraviolet Radiation) | Vorlesung/Übung | ×1Mo 08:00-17:00Extern×1Di 08:00-17:00Extern×1Mi 08:00-17:00Extern×1Do 08:00-17:00Extern×6Do 14:15-15:45Online-Veranstaltung×1Fr 08:00-17:00Extern | |
| Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung (Technology of Extreme Ultraviolet Radiation) | Vorlesung/Übung | ×1Mo 08:00-17:00Extern×1Di 08:00-17:00Extern×1Mi 08:00-17:00Extern×1Do 08:00-17:00Extern×6Do 14:15-15:45Online-Veranstaltung×1Fr 08:00-17:00Extern |