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| Grundlagen und Ausführungen optischer Systeme | Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Übung | ×13Fr 16:30-18:00S16 (1385|216) | |
| Grundlagen und Ausführung optischer Systeme | Vorlesung | ×14Di 18:30-20:00S14 (1385|214) | ||
| Computergestütztes Optikdesign | Computergestütztes Optikdesign | Vorlesung/Übung | ×2Mo 09:00-18:00Extern×2Di 09:00-18:00Extern×2Mi 09:00-18:00Extern×2Do 09:00-18:00Extern×2Fr 09:00-18:00Extern | |
| Technologie der extrem ultravioletten Strahlung | Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung (Technology of Extreme Ultraviolet Radiation) | Vorlesung/Übung | ×1Mo 09:00-17:00Extern×1Di 09:00-17:00Extern×1Mi 09:00-17:00Extern×5Mi 15:00-16:30Online-Veranstaltung×1Do 09:00-17:00Extern×1Fr 09:00-17:00Extern | |
| Technologie der extrem-ultravioletten Strahlung (Technology of Extreme Ultraviolet Radiation) | Vorlesung/Übung | ×1Mo 09:00-17:00Extern×1Di 09:00-17:00Extern×1Mi 09:00-17:00Extern×5Mi 15:00-16:30Online-Veranstaltung×1Do 09:00-17:00Extern×1Fr 09:00-17:00Extern |